html模版上海微電子:借助前人經驗 加速中國光刻機研發
2017年06月08日 10:58中國機床商務網點擊:146



【中國機床商務網 國內新聞】去年,一臺價值1.06億元設備經空運從荷蘭飛抵廈門,由於該設備價值高,而且對保存和運輸有著很高的要求 保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態下,為瞭避免影響設備的精度,在運輸中也對穩定性有極高的要求。因此,機場海關以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監管,待貨物裝入特制溫控氣墊車後移至海關的機坪視頻監控探頭之下,在完成緊急查驗後當晚就放行。

沒錯,這臺設備就是荷蘭ASML的光刻機。鐵流猜測,這臺設備很有可能是廈門當地政府與臺灣聯華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。不過,由於西方瓦森納協議的限制,中國隻能買到ASML的中低產品,這一點從廈門當地企業進口的光刻機報價僅1億人民幣就可以看出來瞭。
目前,光刻機領域的龍頭老大是荷蘭ASML,並已經占據瞭高達80%的市場份額,壟斷瞭高端光刻機市場,日本尼康在高端光刻機上完全被ASML擊敗,即便尼康的ArF光刻機售價僅為ASML的一半也無補於事。Intel、臺積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機都是買自ASML,格羅方德、聯電以及中芯國際等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML。

更關鍵的是,最先進的EUV光刻機全球僅有ASML能夠生產,ASML在去年第三季度和第四季度出售的兩臺EUV光刻機售價都超過1億美元,落後EUV一代的ArF光刻機平均售價也在4000萬至5000萬歐元左右,從高企的報價和EUV光刻機全球僅此一傢出售可以看出,光刻機的技術門檻極高,是人類智慧集大成的產物。
相比之下,國內光刻機廠商則顯得非常寒酸,處於技術領先的上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機,技術差距說是鴻溝都不為過,正是因此,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
據消息人士披露,上海微電子訂瞭一批Bumotec機床。Bumotec是瑞士斯達拉格旗下的子品牌,能制造頂尖的加工光學儀器的機床,據說比ASML用的德國機床還好點 一般人耳熟能詳的那些高端機床,和斯達拉格不是一個世界的,斯達拉格專攻高精尖制造領域的制造設備,所以知道這個公司的人非常少。但名氣小不意味著技術就不頂尖。
在本土機床還存在一定技術差距的情況下,通過這種方式有助於提升中國光刻機的研發進度和技術提升。誠然,在采購瑞士機床的同時,國內也要做好國產化替代工作,實現兩條腿走路。
另外,關於上微和ASML合作的消息,有朋友在微信上留言,懷疑上微是不是要當偽軍,但其實並非如此。主要是上微的一些技術和ASML的專利比較那個啥,然後ASML就打官司,但一直沒結果,中國政府也在中間協調。最後ASML搞的很煩瞭,索性就以合作的名義,拿一筆錢,就不打官司瞭。所以這個合作並不意味著上微要當偽軍。而是繼續走自主研發之路,隻不過在前行之中可能會借鑒一些前人探索出來的捷徑。

(原標題:上海微電子采購Bumotec機床 加速中國光刻機研發)

(來政府補助申請源:上海微電子)



政府創業補助計畫地方型sbir

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